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H(3)TRB | HTGB / HTGS Testsysteme2020-08-22T15:36:33+00:00

H(3)TRB und HTGB / HTGS Testsysteme

High Volume & High Performance Baselines

Im Bereich H(3)TRB und HTGB / HTGS bietet die SET zwei Produktlinien an. Die H(3)TRB und HTGB / HTGS Testsysteme unterscheiden sich sowohl in der Anzahl der Prüflingskanäle als auch dem Spektrum der technischen Möglichkeiten. Beide innovativen Systeme sind skalierbar, modular und standardisiert.

High Volume Testsystem

  • Hervorragende Skalierbarkeit der Prüfkanäle
  • Prüfung hoher Volumina von DUTs auf kleinem Raum
  • Gate Stimuli, kompatibel mit Wide-Bandgap Halbleiter
  • Source und Gate Strommessung pro Prüfkanal

High Performance Testsystem

  • Hervorragende Skalierbarkeit von Testfunktionen
  • Einzel Prüfkanal-Trennung bei Ausfall
  • Aktive Beschränkung des maximalen Stroms pro Prüfling
  • Vollautomatische, Integrierte ReadOut/Charakterisierungen
    (Rth, Vgs(th), Vds, Vf, Vbreakdown, etc)
  • Einzel Prüfkanal Temperierung, vTj-Temperaturregelung

Zu den System Features ↓

H(3)TRB & HTGB / HTGS Testsystem

HIGH VOLUME TESTSYSTEM

Diese Produktlinie skaliert hervorragend in der Anzahl der Prüflinge bis zu 960 Kanäle pro Rack. Das System beherrscht getrennte Prüfabläufe der Kanäle in Gruppen von 80 Prüflingen und darüber hinaus getrennte Umgebungsparameter (Feuchte/Temperatur) für die Prüflinge in Gruppen von 240. Jeder Kanal verfügt dabei über zwei Strommessungen auf Gate und Source. Durch die modulare Bauweise kann eine Aufrüstung des Systems auch nach der Auslieferung vor Ort beim Kunden erfolgen.

Key Benefits des High Volume Testsystems

  • Hervorragende Skalierbarkeit der Prüfkanäle
  • Prüfung hoher Volumina von DUTs auf kleinem Raum
  • Gate Stimuli, kompatibel mit Wide-Bandgap Halbleiter
  • Source und Gate Strommessung pro Prüfkanal
  • Bis zu 960 DUTs in einem 19″-Rack
  • Gelieferte Racks können vor Ort um Prüflingskanälen erweitert werden
  • Unabhängige Testabläufe für Prüfkanäle in 80er Losen
  • Unabhängige Umgebungsbedingungen für Prüfkanälein 240er Losen
  • Automatische Ansteuerung aller gängigen externen Öfen/Klimakammern
  • HTGS mit Strommessung an Quelle und Gate
  • Bis zu 2000V, 4mA/DUT, Gate +/- 35V

  • 240 DUTs initial
    • Options for extending to 480, 720 and 960 on side
  • MassInterface connector to external oven
  • Independent testing per 240DUTs (H3TRB/HTRB/HTGS)
  • Up to 2000V, 1mA per DUT
    • Source current measurement: ~1uA accuracy, 0.1Hz per DUT
    • Gate drive: up to +/-25V, 0.1mA, in groups of 40 SW definable
    • Gate current measurement: ~0.5uA accuracy, 0.1Hz per DUT
    • Characteristics changeable with card swapping

HIGH PERFORMANCE TESTSYSTEM

Diese Produktlinie bietet zusätzliche Funktionen über den reinen HTRB hinaus. Dies bringt Ihnen wichtige Vorteile.

Höhere Auslastung des Geräts

Jeder Prüflingskanal kann getrennt abgeschaltet werden und wird aktiv auf etwa 130% des Maximalstroms begrenzt. Hierdurch ist eine Beeinflussung der Nachbarkanäle ausgeschlossen und der fehlerhafte Prüfling kann später analysiert werden. Durch die Möglichkeit, den Testablauf für in-situ Charakterisierung von Prüflingsparametern (Rth, Vgs(th), Vds, Vf, Vbreakdown, etc.) vollautomatisch zu unterbrechen, entfallen Zwischenmessungen. Nach Beendigung der Charakterisierung fährt das System völlig eigenständig mit dem Stresstest fort. Im Alltag erlaubt das eine deutlich höhere Auslastung des Geräts.

Höhere Temperaturen möglich

Bei Bauteilen und Modulen mit höherer Leistung kann das System mit einer Einzeltemperierung für jeden Prüfkanal ergänzt werden. Das System bestimmt hierbei vollautomatisch den thermischen Widerstand des Prüflings und führt dann eine hochgenaue Temperaturregelung jedes einzelnen Kanals auf vTj durch. Das verhindert nicht nur das Übertesten von Prüflingen sondern erlaubt deutlich höhere Temperaturen insbesondere für IGBTs und Module.

  • Hervorragende Skalierbarkeit von Testfunktionen
  • Einzel Prüfkanal-Trennung bei Ausfall
  • Aktive Beschränkung des maximalen Stroms pro Prüfling
  • Vollautomatische, Integrierte ReadOut/Charakterisierungen
    (Rth, Vgs(th), Vds, Vf, Vbreakdown, etc)
  • Einzel Prüfkanal Temperierung, vTj-Temperaturregelung
  • Bis zu 240 Prüfkanäle pro Rack
  • Nachrüstbarkeit/Erweiterung einzelner Funktionen (z.B. Gate Ansteuerung) durch einfachen Austausch modularer Karten
  • Verfügbare Spannungsklassen: 1500V, 2000V, 3500V, 4200V
  • Verfügbare Ströme bis zu 200mA/Prüfkanal
  • Umschaltbare Strombereiche: Prüflinge mit Standard- und Breitbandabstand
  • Stromklemmung auf ~130% des Strombereichs, permanente Abschaltung nach 20ms.
  • Hochfrequenzmessungen an Vds und Is für erweiterte Diagnose, vollständig asynchron zum HTRB-Test.
  • DUT-Einzeltemperierung:
    • Regelung der Temperatur auf Tj, nicht auf Tcase oder Tambient,
    • Vollautomatische System-Rth-Charakterisierung
    • Ausregelungsgenauigkeit vTj bis zu +/-0.25°C
    • Erhältlich als Schublade oder externer Trolley

  • 3500V, two independent tests with 30 each | HTRB/H3TRB
  • Full DUT disconnect, Vstress measurement
    • prepared for Gate drive for HTGS
    • prepared for Readout functionality
    • prepared for extending to 40 DUTs each
  • Switchable source current measurement:
    • 200mA, 40uA accuracy, 15nA resolution
    • 10mA, 2uA accuracy, 750pA resolution
  • External Oven or Trolley with Single-DUT tempering

  • 2000V, 40 DUTs, HTRB, Readout functionality
    • Drawer with single DUT tempering on vTj
  • Single DUT disable, Vstress measurement
    • Gate drive up to +/-30V, +/- 10mA, accuracy 0.1V
    • Automatic interruption of HTRB for fully automatic readouts
    • Characterization of Rth, Vgs, Vds, Vbreakdown, Vf
  • Switchable Source current measurement:
    • 20mA, 4uA accuracy, 1,5nA resolution
    • 1mA, 200nA accuracy, 75pA resolution

  • 2000V, 80 DUTs, HTRB, extendable in groups of 40 up to 240 DUTs
  • Single DUT disable
    • Adding of Gate drive possible on site
  • Switchable Source current measurement:
    • 20mA, 4uA accuracy, 1,5nA resolution
    • 1mA, 200nA accuracy, 75pA resolution

Technische Daten

High Volume

High Performance

Devices under test (DUTs) per system (fully monitored)

80 – 960

20 – 240

HTRB TestVoltage

60V, 150V, 300V, 600V, 1000V, 1500V, 2000V

300V,600V,1000V, 1500V, 2000V, 3500V, 4200V

Source Current Measurement Ranges

500uA, 1mA, 4mA

500uA, 1mA, 10mA, 20mA, 100mA, 200mA

GateVoltage

-35V to +35V,
SW configurable

-40V to +40V,
SW configurable

GateCurrentRange

4uA, 2mA

10uA, 10mA

Features

HTGS capability

HTGS capability,
Current Range Switching,
DUT current clamping,
DUT disconnect on failure

In-Situ measurements

Rth, Vgs(th), Vds, Vf, Vbreakdown

SingleDUT Temperature Control

vTj control +/-0.5°C

Display with measurements of the HTRB Testsystem
Three HTRB Testsystems in a row
Temperature Chamber HTRB